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FMSS系列方台面整体平移台

简要描述:FMSS系列方台面整体平移台:精度高和机身尺寸小兼而有之的运动控制产品非常难于设计。我们经过三年研发,反复测试,终于推出了该系列产品,并成功应⽤于商业化原子力显微镜。FMSS系列产品采⽤进口直线电机,集成⼀体式交叉滚柱导轨和光栅尺,速度均匀性波动在千分之⼀以内。在保证精度、承载前提下,将体积压缩至最小。

  • 产品品牌:其他品牌
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-30
  • 访  问  量:64

产品分类

Product Category

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详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产地类别国产产品种类电动
应用领域综合

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS系列方台面整体平移台

l行程覆盖38mm、48mm

l⽅形台面设计

l集成式⼀体化交叉滚柱导轨

l静音位移台

l免费标准版SDK

l高性能控制器

l可选配EtherCAT总线控制

产品简介

FMSS系列方台面整体平移台:精度高和机身尺寸小兼而有之的运动控制产品非常难于设计。我们经过三年研发,反复测试,终于推出了该系列产品,并成功应⽤于商业化原子力显微镜。FMSS系列产品采⽤进口直线电机,集成⼀体式交叉滚柱导轨和光栅尺,速度均匀性波动在千分之⼀以内。在保证精度、承载前提下,将体积压缩至最小。

产品应用

l激光打靶

l晶圆打磨

l激光工业

l美医疗

l高级仪器设备

l原⼦力显微镜

性能实测

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS系列方台面整体平移台

接线定义

电机接⼝

FMSS系列方台面整体平移台

反馈接⼝

FMSS系列方台面整体平移台

产品图纸

FMSS90C-38

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS125C-48

FMSS系列方台面整体平移台

产品参数

Model

FMSS90C-38

FMSS125C-48

行程(mm)

38

48

负载(Kg)

4

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

最⼩步进量(μm)

0.3

0.3

单向重复定位精度/保证值(μm)

±0.3

±0.5

单向重复定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.3

双向重复定位精度/保证值(μm)

±0.6

±1

双向重复定位精度/典型值(μm)

±0.3

±0.5

定位精度/保证值(μm)

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

最⼤速度(mm/s)

100

100

直线度(μm)

5

5

平整度(μm)

5

5

偏摆(arcsec)

10

10

俯仰(arcsec)

10

10

持续推力(N)

6

17.6

峰值推力(N)

24

88

重量(kg)

1.1

2.1



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