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Edmund 极紫外 (EUV) 二向色滤光片

简要描述:Edmund 极紫外 (EUV) 二向色滤光片,也称为光束分离器,旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率,用于高谐波产生应用。 这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计,支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。

  • 产品品牌:Edmund
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-06-27
  • 访  问  量:282

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别光学元件应用领域医疗卫生,环保,化工,电子

Edmund 极紫外 (EUV) 二向色滤光片

  • 将 EUV 与 NIR 激光源分开

  • 透射型熔融石英设计最大限度地延长组件使用寿命

  • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 应用

Edmund 极紫外 (EUV) 二向色滤光片,也称为光束分离器,旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率,用于高谐波产生应用。 这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计,支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。 除了产生高次谐波外,这些反射镜还可用于支持 EUV 应用的系统,例如 EUV 光刻、EUV 纳米加工和等离子体实验。

通用规格


尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直径 (mm):50.80
厚度 (mm):5.08 ±0.1镀膜:Dielectric Multilayer AR
基底:Fused Silica表面质量:20-10
平行度(弧分):<5面形计算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


产品型号


波长范围 (nm)产品编码
10 - 25#18-279
20 - 40#18-280


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