Layertec 反射镜，输出耦合器和镜片

Layertec 反射镜，输出耦合器和镜片

图1：随机偏光（a）的反射镜（AOI = 45°）在193 nm下的测量的反射率和透射光谱（a）和在两面都涂有193 nm氟化物AR涂层的CaF2窗口（b）

Ø所有氟化物系统均确保高反射率和高损伤阈值

ØPR涂层的公差为：

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2（肖特公司193nm受激准分子级）和熔融石英的高质量镜面基板，窗口片和透镜

Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器

Ø单波长增透膜，剩余反射率在AOI = 0°时R <0.25％，在AOI = 45°时R <0.6％（非偏振光）

Ø宽带和多波长增透膜

可变衰减器

图2：在不同的AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的可变衰减器的透射率光谱; 透射率从AOI = 0°时的T> 88％到AOI = 45°时的T <2％

Ø可根据要求提供不同传输范围的衰减器

Ø衰减器可以与CaF2熔融石英的AR涂层补偿板一起提供

铝反射镜

图3：优化了针对193nm的受保护Al镜（a）和针对193nm的增强Al镜（AOI = 45°（b））的测量反射光谱

增强铝镜：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有关铝镜的更多信息，请参见目录中的96-97页。

标准ArF激光元件的技术参数

1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大学进行了测量

2）能量密度：18mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试

3）能量密度：55mJ / cm 2，重复率：1kHZ，脉冲持续时间15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

4）能量密度：27mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试

5）能量密度：80mJ / cm 2，重复频率：1kHz，脉冲持续时间：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

Layertec 反射镜，输出耦合器和镜片

图1：157nm的激光镜（AOI = 0°，a）和转向镜（AOI = 45°，b）的测量反射率和透射光谱

Ø激光镜：AO = 0°时R = 92 ... 95％

Ø转向镜（AOI = 45°）：

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品质镜面基板，窗口片和镜片（肖特公司157nm受激准分子级品质）

Ø具有公差的PR涂层

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器

图2：标准输出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％时测得的反射光谱（背面未镀膜）

可变衰减器

图3：可变衰减器在不同AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的透射光谱透射率从AOI = 0°时的T> 75％到AOI = 45°时的T <5％

F2激光铝镜

图4：受保护的Al镜（a）和增强型Al镜在157nm下的反射光谱（b）

受保护的铝镜（针对157nm进行了优化）：R = 74 ... 78％

电介质增强型铝镜：AOI = 0°时R = 94％

有关铝镜的更多信息，请参阅我们的目录中的第96 - 97页。

标准F2激光组件的技术数据

*能量密度：25mJ / cm2，重复频率：800Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试

***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试

反光镜和部分反射镜

Ø对于s和p偏振光，在AOI = 0°和AOI = 45°时R> 99.9％的HR腔和转向镜

Ø典型反射率：R> 99.95％

Ø对于特殊要求，我们保证R> 99.99％（带腔环下降测量的交货）

Ø光谱带宽约70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）

图1：高功率腔镜（a）和具有不同反射率的输出耦合器（b）的反射光谱

分光镜和输出耦合器，反射率经过精确调节

Ø泵浦镜HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％

Ø光束分离器，合束器和扫描镜

Ø另外，此处也介绍了Nd：YAG / Nd：YVO4激光器谐波的光学器件（在我们的目录第40-45页中）

图2：导光镜HR（1064 nm）+ PR（630-670 nm）的反射光谱在AOI = 45°（a）时的s-，p-和随机偏振，以及在不同AOI时的随机偏振（用作 扫描镜）（b）

Ø薄膜偏振片

Ø分离光的s和p偏振分量（反射s偏振光并透射p偏振光）

Ø可以在AOI> 40°的情况下生产TFP，但是如果使用AOI≈55°（布鲁斯特角），偏振是*的，并且会出现在宽波长范围内

Ø典型偏振比：AOI = 45°或55°时，Tp / Ts> 500

Ø可以进行极化比Tp / Ts高达10000的特殊设计

Ø较高的激光损伤阈值（适用于腔内应用）

Ø通过改进的空腔环形设置，可以高精度测量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率

图3：对于s和p偏振光，AOI = 55°（布鲁斯特角）的标准TFP的反射光谱

非偏振分束器

Ø对于AOI = 45°和不同程度的反射率，Rs〜Rp（| Rs – Rp | <1.5％）的分束器

Ø最常见的类型：

o Rs，p = 66±1％

o Rs，p = 50±2％

o Rs，p = 33±3％

Ø所有具有背面AR（Rs〜Rp≤0.6％）的非偏振分束器

图4：3种类型的非偏振分束器的反射光谱（AOI = 45°）