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Layertec 反射镜,输出耦合器和镜片

简要描述:Layertec 反射镜,输出耦合器和镜片
银镜的反射率可以通过介电涂层来提高。必须精确指增强反射率的带宽。在该频带之外,反射镜的反射率可能低于标准银镜的反射率。

  • 产品品牌:Layertec
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-06-03
  • 访  问  量:74

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别光学元件应用领域医疗卫生,环保,化工,电子,综合

Layertec 反射镜,输出耦合器和镜片


图1:随机偏光(a)的反射镜(AOI = 45°)在193 nm下的测量的反射率和透射光谱(a)和在两面都涂有193 nm氟化物AR涂层的CaF2窗口(b)

Ø所有氟化物系统均确保高反射率和高损伤阈值

ØPR涂层的公差为:

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2(肖特公司193nm受激准分子级)和熔融石英的高质量镜面基板,窗口片和透镜

Ø根据客户要求开发和生产特定组件,例如分束器和可变衰减器

Ø单波长增透膜,剩余反射率在AOI = 0°时R <0.25%,在AOI = 45°时R <0.6%(非偏振光)

Ø宽带和多波长增透膜

可变衰减器


图2:在不同的AOI(a)和透射率与AOI(b)下测得的可变衰减器的透射率光谱; 透射率从AOI = 0°时的T> 88%到AOI = 45°时的T <2%

Ø可根据要求提供不同传输范围的衰减器

Ø衰减器可以与CaF2熔融石英的AR涂层补偿板一起提供

铝反射镜


图3:优化了针对193nm的受保护Al镜(a)和针对193nm的增强Al镜(AOI = 45°(b))的测量反射光谱

增强铝镜:Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有关铝镜的更多信息,请参见目录中的96-97页。

 

标准ArF激光元件的技术参数

Coating

Substrate

Damage threshold*

Lifetime test

    

Fluoride coatings

   

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

CaF2

4 – 5 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

fused silica

2 – 3 J/cm2

 

PR (0°, 193nm) R = 25%

CaF2

3 – 4 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

PR (0°, 193nm) R = 50%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***

HR (0°, 193nm) R > 96%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***, no damage
1010
pulses****, no damage
4 x 109
pulses*****, no damage

HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized)

CaF2

2 – 3 J/cm2

 

Oxide coatings

   

HR (0°, 193nm) R>92%

fused silica

<1 J/cm2

 

1)1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大学进行了测量

2)能量密度:18mJ / cm 2,重复频率:4kHz,脉冲持续时间:30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试

3)能量密度:55mJ / cm 2,重复率:1kHZ,脉冲持续时间15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

4)能量密度:27mJ / cm 2,重复频率:4kHz,脉冲持续时间:30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试

5)能量密度:80mJ / cm 2,重复频率:1kHz,脉冲持续时间:12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

Layertec 反射镜,输出耦合器和镜片


图1:157nm的激光镜(AOI = 0°,a)和转向镜(AOI = 45°,b)的测量反射率和透射光谱

Ø激光镜:AO = 0°时R = 92 ... 95%

Ø转向镜(AOI = 45°):

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品质镜面基板,窗口片和镜片(肖特公司157nm受激准分子级品质)

Ø具有公差的PR涂层

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根据客户要求开发和生产特定组件,例如分束器和可变衰减器


图2:标准输出耦合器在R = 50±3%和R = 25±2%时测得的反射光谱(背面未镀膜)

可变衰减器


图3:可变衰减器在不同AOI(a)和透射率与AOI(b)下测得的透射光谱透射率从AOI = 0°时的T> 75%到AOI = 45°时的T <5%

F2激光铝镜


图4:受保护的Al镜(a)和增强型Al镜在157nm下的反射光谱(b)

受保护的铝镜(针对157nm进行了优化):R = 74 ... 78%

电介质增强型铝镜:AOI = 0°时R = 94%

有关铝镜的更多信息,请参阅我们的目录中的第96 - 97页。

标准F2激光组件的技术数据

Coating

Spectral performance

Lifetime test

HR (0°, 157nm)

R = 92 ... 95 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

HR (45°, 157nm)

R = 90 ... 94 % (random pol.)

 

PR (0°, 157nm)

R = 50 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

PR (0°, 157nm)

R = 25 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

Attenuator

T = 67 ± 3 %

5 x 107
pulses**, no damage

Attenuator

T = 33 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

Beam splitter

T = 20 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

AR (0°, 157nm)

0.3 ... 0.7 %

 

*能量密度:25mJ / cm2,重复频率:800Hz,脉冲持续时间:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

**能量密度:15mJ / cm 2,速率:200Hz,脉冲持续时间:20ns; 在光电技术研究所(IPHT)耶拿研究所进行测试

***能量密度:20 mJ / cm2,速率:50Hz,脉冲持续时间:20ns; 在光电技术研究所(IPHT)耶拿研究所进行测试

反光镜和部分反射镜

Ø对于s和p偏振光,在AOI = 0°和AOI = 45°时R> 99.9%的HR腔和转向镜

Ø典型反射率:R> 99.95%

Ø对于特殊要求,我们保证R> 99.99%(带腔环下降测量的交货)

Ø光谱带宽约70 nm,1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2(cw)和> 50J / cm2(10 ns)


图1:高功率腔镜(a)和具有不同反射率的输出耦合器(b)的反射光谱

分光镜和输出耦合器,反射率经过精确调节

Reflectance

Tolerance

R > 95%

± 0.5%

R = 80 ... 95%

± 1%

R = 10 ... 80%

± 2%

Ø泵浦镜HR(0°,1064 nm)> 99.9%+ R(0°,808 nm)<2%

Ø光束分离器,合束器和扫描镜

Ø另外,此处也介绍了Nd:YAG / Nd:YVO4激光器谐波的光学器件(在我们的目录第40-45页中)


图2:导光镜HR(1064 nm)+ PR(630-670 nm)的反射光谱在AOI = 45°(a)时的s-,p-和随机偏振,以及在不同AOI时的随机偏振(用作 扫描镜)(b)

Ø薄膜偏振片

Ø分离光的s和p偏振分量(反射s偏振光并透射p偏振光)

Ø可以在AOI> 40°的情况下生产TFP,但是如果使用AOI≈55°(布鲁斯特角),偏振是最有效的,并且会出现在宽波长范围内

Ø典型偏振比:AOI = 45°或55°时,Tp / Ts> 500

Ø可以进行极化比Tp / Ts高达10000的特殊设计

Ø较高的激光损伤阈值(适用于腔内应用)

Ø通过改进的空腔环形设置,可以高精度测量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率


图3:对于s和p偏振光,AOI = 55°(布鲁斯特角)的标准TFP的反射光谱

非偏振分束器

Ø对于AOI = 45°和不同程度的反射率,Rs〜Rp(| Rs – Rp | <1.5%)的分束器

Ø最常见的类型:

o Rs,p = 66±1%

o Rs,p = 50±2%

o Rs,p = 33±3%

Ø所有具有背面AR(Rs〜Rp≤0.6%)的非偏振分束器


图4:3种类型的非偏振分束器的反射光谱(AOI = 45°)

 

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