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Navitar 镜头系统

简要描述:Navitar 镜头系统
作为生产高精度优质变焦镜头的制造商,Navitar 现隆重推出全新变焦镜头技术。Resolv4K 镜头系列以一阶原则设计,尽可能zui大化利用具备更高像素密度的现代传感器。

  • 产品品牌:Navitar
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-01-13
  • 访  问  量:307

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别光学元件应用领域医疗卫生,环保,化工,电子

Navitar 镜头系统

Navitar 全新镜头系统Resolv4K 系列


作为生产高精度优质变焦镜头的制造商,Navitar 现隆重推出全新变焦镜头技术。Resolv4K 镜头系列以一阶原则设计,尽可能zui大化利用具备更高像素密度的现代传感器。配备众多适配器选择,用户可利用 1/2" APS 格式的一系列传感器。变焦镜头前端,精密设计的镜头附件提供最/佳显像效果;低倍率端提供更大视场,亦不牺牲 MTF 或损失照明性能,而高倍率端可实现超长工作距离,带来显微镜物镜级别的分辨率。


此外,Resolv4K 镜头不仅可实现卓/越的可见光波长轴向色彩校正,还大幅提高了可见光至近红外 (Vis-NIR)  SWIR 的波长聚焦性能。系统配备全新 LED 同轴光模块,确保在大视场配置下亦提供均匀照明。


1.      更宽成像通道。Resolv4K 提供更宽视野范围,现代高像素密度传感器带来卓/越的镜头分辨性能,可更快捕捉更大范围的影像;是高速检测及精确测量应用的理想之选。与传统变焦系统相比,视场放大 400-600%

2.      更长波长。Resolv4K 变焦镜头有可见光、Vis-NIR  SWIR 涂层可选。可见光涂层为现有变焦镜头带来卓/越的轴向色彩校正。Vis-NIR 涂层可在深蓝色中实现精确表面检测,还可在 1100nm 进行次表面检测,无需重新对焦,也不损失透射性能。SWIR 则可透过表面观测损伤和缺陷,可应用于食品、硅片检测及其他领域。


3.      更大视场。Navitar Resolv4K 系列带来更高分辨性能,与传统变焦镜头成像相比,可呈现 400-600% 的更大视场,且细节毫发无损。无需拼接多次捕捉的多份影像。

22.jpg

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4.      更高分辨率。Resolv4K 数值孔径更高,且具备卓/越的像差校正功能,可实现精确测量性能。即使将4.5X 放大倍率与 7X 倍率系统相比,Resolv4K 设计的优异品质亦可实现卓/越表现,如下图边缘扩散函数中黑白过渡图像所示。直至传感器边角的系统表现均属优秀,不论你的兴趣区域处于视场中的哪些位置,均可聚焦。您的边缘检测软件会发现这一不同。


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1.jpg

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Navitar 高分辨率物镜

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Navitar 镜头系统


部件号

描述

1-81304

超变焦 M25x0.75 适配器

1-81305

超变焦 M26x36T 适配器

1-81306  

超变焦 0.8x36T RMS 适配器


系统图

4.jpg


Camera Mounts


Part #

Description

3-62923

Camera Mount, T-F



3-63266

T-C Mount



1-55281

M42 - T Mount Adapter




Adapters

Part #

Description

1-81101

0.6875X Rear Adapter (2/3" Sensor)

1-81102

1X Rear Adapter (1" Sensor)

1-81103

1.375X Rear Adapter (4/3" Sensor)

1-81104

2X Rear Adapter (32mm Sensor)

Clamps

Part #

Description

1-80371

Resolv4K Flat Mount Assembly, Inch

1-80370

Resolv4K Flat Mount Assembly, Metric

1-80372

Split Clamp Assembly, 76mm OD


Core Zooms

Part #

Description

1-80100

7X Afocal Core Zoom, Manual

1-80100D

7X Afocal Core Zoom, Manual, Detent

1-80300

7X Afocal Core Zoom, Mot. DC Servo

1-80200

7X Afocal Core Zoom, Mot. 2-Phase Stepper

1-80500

7X Afocal Core Zoom, Mot. 5-Phase Stepper


Lens Attachments

Part #

Description

1-81202

0.5X Lens Attachment

1-81201

0.25X Lens Attachment

1-81203

0.75X Lens Attachment

1-81204

1.0X Lens Attachment

1-81205

1.25X Lens Attachment

1-81206

1.5X Lens Attachment

1-81207

2.0X Lens Attachment

1-81201M1

0.25X Lens Attachment, Fine Focus

1-81202M1

0.5X Lens Attachment, Fine Focus

1-81203M1

0.75X Lens Attachment, Fine Focus

1-81204M1

1.0X Lens Attachment, Fine Focus

1-81205M1

1.25X Lens Attachment, Fine Focus

1-81206M1

1.5X Lens Attachment, Fine Focus

1-81207M1

2.0X Lens Attachment, Fine Focus

Motorized Fine Focus

Part #

Description

1-81201M2

0.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81202M2

0.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81203M2

0.75X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81204M2

1.0X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81205M2

1.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81206M2

1.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81207M2

2.0X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 2   phase stepper

1-81201M3

0.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81202M3

0.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81203M3

0.75X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded server

1-81204M3

1.0X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81205M3

1.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81206M3

1.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81207M3

2.0X Lens Attachment, Mot. Fine Focus,   encoded servo

1-81201M5

0.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

1-81202M5

0.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

1-81203M5

0.75X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

1-81205M5

1.25X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

1-81206M5

1.5X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

1-81207M5

2.0X Lens Attachment, Mot. Fine Focus, 5   phase stepper

Illumination

Part #

Description

1-40297

LED Coupler for Resolv4K

1-81301

Coax Port

1-81408

Fiber Input 8mm

1-81410

Fiber Input 10mm

1-81412

Fiber Input 12mm


Couplers

Part #

Description

1-81302

90 degree fold

1-81300

Fixed Lower Interface

1-81305

Microscope objective couplers - M26-36T


Cables for Motorized Zoom & FocusModules

Part #

Description

1-40283

24" cable for 1-80200 (2 phase)

1-40286

24" cable for 1-80300 (encoded)

1-40290

24" cable for 1-80500 (5 phase)

1-40282

48" cable for 1-80200 (2 phase)

1-40285

48" cable for 1-80300 (encoded)

1-40289

48" cable for 1-80500 (5 phase)

1-40281

72" cable for 1-80200 (2 phase)

1-40284

72" cable for 1-80300 (encoded)

1-40170

72" cable for 1-80500 (5 phase)

高倍率的变焦透镜系统


特性

模块化的变焦透镜系统,用于机器视觉和其它成像应用

6.5X系统可以提供0.09到18.0倍的放大倍率(核心透镜具有6.5倍的放大调节范围)

12X系统可以提供0.07到28.0倍的放大倍率(核心透镜具有12倍的放大调节范围)

工作距离为36 - 356毫米

设计用于我们的C-Mount 2/3英寸传感器式CCD和CMOS相机

通过使用SM1A9或SM1A10 C-Mount至SM1转接件与SM1螺纹的元件兼容

0.15 - 91毫米的视场(情参看视场标签了解细节)

这些变焦透镜机器适合高放大率的机器视觉和成像应用,它们能够良好地在光学性能和大变焦范围之间取得平衡。这些变焦透镜必须与延长管(下方出售) 一起使用,也可选择与合适的6.5X或12X系统放大透镜框(也在下方出售)一起使用。


我们的模块化变焦透镜系统包含一个0.7 - 4.5X的变焦镜头(6.5X变焦范围)或一个0.58 - 7X的变焦镜头(12X的变焦范围),0.50X、0.67X、1X、1.33X和2X伸缩套筒以及可选的0.25X、0.5X、0.75X、1.5X和2.0X放大透镜转接件。这些元件组合在一起构成6.5X透镜系统后,放大率为0.09 - 18,放大调节范围为6.5X,而构成12X系统后,放大率为0.07 - 28,放大调节范围为12X。 在调节放大倍率(变焦)时,只需旋转透镜套筒上的旋转环即可,即便透镜安装在V形压块中亦可以调节。请注意,每次只能使用一个放大镜头附加透镜。


放大率计算

系统的净放大率M(M=像尺寸/物尺寸)等于放大镜头附加透镜的放大率、变焦透镜(根据实际设置值)的放大率和伸缩套筒的放大率的乘积。例如,12X变焦镜头可以将放大倍率设置在0.58X和7X之间(对应12X变焦范围)。如果在zui大放大倍率7X时使用12X变焦镜头、2X透镜框和一个2X伸缩套筒,zui大系统放大率为2×7×2=28。请参看规格标签了解每个透镜组合的zui大和zui小放大率。


在使用这些镜头时,我们也提供C-Mount转接件(单独出售),可以兼容我们的C-MountCCD和CMOS相机,或任何其它标准C-Mount相机。我们还提供带一个F卡口安装座的2X伸缩套筒。请注意,变焦透镜必须与一个伸缩套筒一起使用(否则图像不能被聚焦),而放大透镜转接件则是可选用的。另外,使用SM1A9或SM1A10转接件时,本页面所出售的可变焦透镜可以与Thorlabs公司的SM1螺纹光机集成。


6.5X变焦镜头(放大调节范围0.7 - 4.5X)

6.5X变焦范围(核心透镜的放大率为0.7 - 4.5X)

系统NA为0.006 - 0.142

专为2/3英寸传感器式的CCD或CMOS相机而设计

需要与一个伸缩套筒一起使用


我们的6.5X变焦镜头具有0.7 - 4.5X的可调放大率,共6.5X的放大(变焦)调节范围。MVL6X12具有12毫米的精细聚焦行程,提供大工作距范围,而MVL6X3具有3毫米精细聚焦行程和同轴照明端口,兼容我们OSL2光纤光源和Ø3 mm和Ø5 mm的液体光波导。


请注意,我们的6.5X变焦镜头必须与一个伸缩套筒(下方有售)一起使用,同时可以选用一个6.5X系统放大透镜附件(下方有售)。变焦镜头的螺纹端具有M25 x 0.75内螺纹和1.093"-32外螺纹。我们的6.5X变焦镜头可以用C1512(/M)固定式或C1513(/M)可调式V形压块进行安装。


订购型号描述
MVL6X12Z6.5X变焦镜头,12毫米精细聚焦调节
MVL6X3Z6.5X变焦镜头,3毫米精细聚焦调节,具有同轴照明端口




6.5X系统放大镜头附加透镜

可选的放大镜头附加透镜,提供额外的0.25 - 2X放大率

兼容我们的6.5X变焦镜头

M25 x 0.75外螺纹

这些放大镜头附加透镜可以为变焦镜头和伸缩套筒系统提供额外的放大倍率。它们能够兼容页面上方出售的6.5X变焦镜头,放大因子为0.25X、0.5X、0.75X、1.5X或2.0X(请参看上面概述标签中的放大率计算部分)。请注意,一次只能使用一个透镜附件。


订购型号描述
MVL6X025L0.25X放大镜头附加透镜,用于6.5X变焦镜头
MVL6X05L0.5X放大镜头附加透镜,用于6.5X变焦镜头
MVL6X075L0.75X放大镜头附加透镜,用于6.5X变焦镜头
MVL6X15L1.5X放大镜头附加透镜,用于6.5X变焦镜头
MVL6X20L2.0X 放大镜头附加透镜,用于6.5X变焦镜头






12X变焦镜头(0.58 - 7X的放大范围)

12X变焦范围(核心透镜具有0.58 - 7X的变焦范围)

系统NA为0.005 - 0.202

专为2/3英寸传感器式的CCD或CMOS相机而设计

需要与一个伸缩套筒(下方有售)一起使用

我们的12X变焦镜头具有0.58 - 7X的可变放大倍率,可以提供12X的放大(变焦)调节范围。MVL12X12Z/具有12毫米的精细聚焦行程,适合大工作距离范围,而MVL12X3Z则只有3毫米的精细聚焦行程,并带有一个同轴照明端口,可以兼容我们的OSL2光纤光源和Ø3 mm和Ø5 mm的液体光波导。


请注意,我们的的12X变焦镜头必须与一个伸缩套筒(下方有售)一起使用,同时可以选用一个12X系统放大透镜附件(下方有售)。MVL12X12具有1.093"-32内螺纹,而MVL12X3具有1.093"-32内螺纹和1.500"-32外螺纹。我们的12X变焦镜头可以通过C1512(/M)固定式或C1513(/M)可调式V形压块进行安装。



订购型号描述
MVL12X12Z12X变焦镜头,12 mm精细聚焦调节
MVL12X3Z12X变焦镜头,3 mm精细聚焦调节,具有同轴照明端口



12X系统放大镜头附加透镜

可选放大镜头附件透镜提供0.25 - 2X的放大率

兼容我们的12X变焦镜头

1.093"-32外螺纹

这些放大镜头附加透镜可以为变焦镜头和伸缩套筒系统提供额外的放大率。它们能够兼容页面上方出售的12X变焦镜头,并提供0.25X、0.5X、0.75X、1.5X或2.0X的放大因子(请参看上面概述标签中的放大率部分)。请注意,一次只能使用一个镜头附加透镜。


订购型号描述
MVL12X025L0.25X放大镜头附加透镜,用于12X变焦镜头
MVL12X05L0.5X放大镜头附加透镜,用于12X变焦镜头
MVL12X075L0.75X放大镜头附加透镜,用于12X变焦镜头
MVL12X15L1.5X放大镜头附加透镜,用于12X变焦镜头
MVL12X20L2.0X放大镜头附加透镜,用于12X变焦镜头



用于6.5X和12X透镜系统的伸缩套筒

是使用我们6.5X和12X变焦镜头的必/备器件

兼容这两种系统

可以提供额外的0.5 - 2X放大率

专为2/3英寸传感器式的CCD或CMOS相机而设计

MVL20FA集成有一个F-Mount卡口

这些伸缩套筒是使用我们6.5X和12X变焦镜头的必/备器件,它们兼容这两种系统。它们可以通过MVLCMC C-Mount安装座转接件(下方有售)与一个相机连接。此外,MVL20FA伸缩套筒集成有一个F-Mount卡口,可以直接与相机连接。


订购型号描述
MVL05A0.50X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头
MVL067A0.67X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头
MVL10A1.00X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头
MVL133A1.33X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头
MVL20A2.00X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头
MVL20FA2.00X伸缩套筒,用于6.5X和12X变焦镜头,带F安装座卡口



Mount转接件

我们的伸缩套筒连接高一个内部C-Mount螺纹相机上

外部C-Mount(1.000英寸-32)螺纹

三个1/16英寸六角扳手固定螺丝可以将其与伸缩套筒连接

与SM1A9或SM1A10转接件一起将变焦镜头集成到Thorlabs公司的SM1螺纹光学机械产品上

MVLCMC转接件可以将我们的的变焦镜头与一个标准C-Mount相机结合到一起,包括我们的C-MountCCD和CMOS相机等。该钻戒见具有外部C-Mount(1.000英寸-32)螺纹,可以为标准C-Mount的17.526法兰焦距提供正确的透镜间隔。此外,在与SM1A9或SM1A10转接件一起使用时,该页面出售的变焦镜头可以集成到Thorlabs公司的SM1螺纹光学机械产品上。


订购型号描述
MVLCMCC安装座转接件,用于6.5X和12X变焦镜头伸缩套筒



实例图像


这里显示的图像都是用Thorlabs公司的DCC1240C彩色CCD相机、MVL20A伸缩套筒、MVL12X3Z变焦透镜和MVL12X20L放大透镜框拍摄的。

智能手机上LCD屏幕的像素(213微米×170微米的视场,放大率为28X,LCD屏幕分辨率为326像素/英寸)


位于陶瓷套管中的一根Ø50微米纤芯多模光纤的损伤末端,放大倍率为28X(倾斜照明)。



CCD传感器和Thorlabs公司DCC1224C相机周围电路板的远视(上)和近视(下)图。

2.56毫米 x 2.05毫米的视场(2.32X的放大率),同轴照明

267微米 x 213微米的视场(~22X的放大率),同轴照明



6000 变焦™镜头系统


无/与伦/比的光学性能

在高倍率应用领域,,6000 变焦镜头是*的行业标准,我们的多功能 6.5 倍变焦镜

头设计,在不增加体积或费用的情况下赋予您的传统显微镜以放大功能。它们易于整合、组装和配置到您的

具体应用中。与竞争产品相比,Navitar 6000 变焦系列提供了无/与伦/比的光学性能、重复性和机械灵活性。


0.09-393.80X 的动态放大倍率范围提供了难以置信的多功能性

高对比度的图像和逼真的色彩使您的设备表现更好

0.01-182.72 mm 的视野范围使您拥有广泛的视角

物距变化范围是 13 至 390 mm

添加无限校正物镜镜头,实现无/与伦/比的边缘平滑和清晰

可以配备带定格、光圈或电动式的镜筒



6000 变焦视野矩阵(mm,额定物距)



6000 变焦性能规格

6000 变焦™超变焦

配合无限校正物镜实现大分辨率和放大倍率

Navitar 的超变焦产品是半导体检测、流式细胞仪和其他高倍率应用的理想产品。其先进的设计实现了高分辨率和出色的对比度。这一系统融合了无限校正的平场复消色差物镜,实现较长的物距和卓/越的边缘平滑度和清晰度。根据使用的显微镜物镜,分辨率可调整为每毫米420至1650条线。超变焦也可以实现精细聚焦和/或同轴照明。


6000 变焦超变焦视野矩阵

(用于部件号的1-60190、 1-60191、 1-60349 和1-60350,mm)



6000 变焦™同轴照明

Navitar 的 6000 变焦内设同轴照明 (1-60123) 是用于涉及如晶片、抛光样品和流体等的高度反射表面的理想产品。这一设计旨在为放大倍率更高的应用提供均匀的照明。同轴照明实现了极其细致的分辨率,这一特性在配合高分辨率相机时尤为显著。


6000 变焦视野矩阵 1-60123 (mm,额定物距)



12 倍变焦镜头系统

Navitar 变焦范围和分辨率的组合

对于那些高倍率的应用,如要求在光学性能、大变焦范围和价格之间取得平衡,那么Navitar 12x变焦镜头是理想的选择。12x变焦具有更大的变焦范围,同时有 6000 变焦系列的所有机械灵活性,更高的数值孔径和无/与伦/比的精确度和可重复性,可满足要求苛刻的应用。变焦范围的这种完/美组合,再加上大视场范围,意味着您现在只使用摄像检查系统就可以看到更广的部分,而无需累赘的显微镜。


难以置信的 12X (0.58-7X) 放大倍率用于检查更广的范围

分辨率随 0.005- 0.550 数值孔径而增加

物距变化范围是 13 至 341 mm

使用附件视野为 0.006 mm 至 85.71 mm

无/与伦/比的边缘平滑度和清晰度

使用 1/4"、1/3"、1/2" 和 2/3" 格式相机

12X 变焦系统使用现存的 6000 变焦转接器镜筒

可以配备带定格、光圈或电动式的镜筒



12X 变焦视野矩阵 (mm



12X 变焦性能规格

12X 超变焦

适用高倍率应用的无/与伦/比的光学质量

Navitar 的12X 超变焦产品以先进的设计融合了无限校正物镜,实现较长物距和出色的边缘平滑度和清晰度。超变焦也可以实现精细聚焦或精细聚焦和同轴照明。


12X 超变焦视野矩阵用于 1-50502、 1-50503 和 1-50504 (mm)



具有同轴照明的 12X 变焦

Navitar 的 12X 变焦内设同轴照明 (1-50487) 是用于涉及如晶片、抛光样品和流体之类的高度反射表面的应用的理想产品。这一设计旨在为更高倍率的应用提供均匀的照明,它实现了在入射光源下极其细致的分辨率,尤其是在使用高分辨率相机时。并且可以配合各种光源进行使用。


具有同轴照明的 12X 变焦的视野矩阵- 1-50487 (mm)


12X 远心变焦

Navitar 提供了12X 远心变焦系统,使用户在 0.4 度内达到真正的远心条件,同时保持

恒定的视角和放大倍率。非常适合广泛应用,包括物体的精密尺寸测量或模式识别。

四种远心转接器可用于 12X 变焦镜头:平直(无同轴光)、平直(有同轴光)、无 同轴

光的直角转接器和折叠有同轴光的直角转接器。当与 1-50993 12X 变焦组合时,远

心附件额定物距 173mm +/- 2mm。物距可由工厂从 165 修改至 186 mm。1X 转

接环的放大倍率范围是 0.16X 至 1.94X,2X 转接环则是 0.32X 至 3.88X。zui大视野

是 50 mm。一个上 2X 的 F 接口转接器可安装于 F 接口的相机。




12X 远心变焦镜头规格


用于 6000 变焦、12X 变焦和Precise Eye镜头的 近红外镜头系统


Navitar 的近红外变焦镜头系统具备高分辨率和无/与伦/比的捕捉显微图像敏感性。我们特别对高倍率系统上的玻璃进行了镀膜,以优化 700-1550nm 波长范围内的图像。


可以买到带定格、光圈或电动系统的镜筒


注意:由于近红外镜头不在可见光谱内运行,所以所得到的图像与使用标准变焦系统时所得图像稍有不同。近红外镜头的标准镜头分辨率限值是基于 0.5 微米的假定平均波长,且与波长成反比(zui大调制传递函数 = 可见波长下 3000x数值孔径)因此,代以 1.5 微米的波长将减少 3 倍的大分辨率。实际上,这意味着在更高波长下对比度会稍有降低。


(当改变近红外区域内的波长时,可能需要细微的重新聚焦。)


Navitar 近红外光学产品适用的应用

晶圆检测

激光束分析

光学组件测量和分析

光纤校准和检测

组装和监测

高光谱显微镜



微分干涉差分 (DIC) 模块

用于 6000变焦和12x 变焦系统


两种微分干涉差分 (DIC) 模块可从 Navitar 获得:

DIC 组装尼康——高分辨率模块 (1-63726)

原装 DIC 组装模块 (1-63102)

这两种模块均可用于 6000 变焦和 12X 变焦的任何超变焦带同轴光插孔的变焦或不变焦的镜头主体。


DIC 与明场照明一起使用时,往往可理解为表面几何形状的真正三维表示。它提供了观察标本凹凸区域之间明确区分。


在反射光情形下使用 DIC 模块两个偏振器,一个在照明轴上,一个在观察轴上,呈 90 度交叉,在看完/美镜像表面时,所有光会被第二个偏振器熄灭。


棱镜由两块石英制成,放置于照明光束分离器和物镜之间。由于石英的光学属性,偏振光束被分成两束。这两束光,被一个小小的接口分开,以 90 度向彼此偏振,其中一束光向另外一个周

围转移——相移。


如果观察的物体展现的特性改变了任何一个光束的光路径长度(如表面属性、光密度等),两个光束都会出现进一步的相移。棱镜横向运动时,棱镜的相移性能可能会加剧,并且zui终的图像

会改变。通过在光偏振器后面添加偏振修正器,例如 1/4 波片,进一步修正zui终效果。


DIC 模组适用于物体侧数值孔径 0.05 至 0.50,在 0.15 至 0.4 范围之间性能zui/佳。在上述范围内操作的透镜附件用于微距摄影应用。任何专为入射光设计的无限远校正物镜都足够满足微距摄影应用。操作参数,如放大倍率和视场,与 Navitar 正在使用的变焦系统的现有表格是一样的。


应用微分干涉差分 (DIC) 和 6000 变焦镜头观察平板显示

电路的 3D 剖析图。


电动系统选项


设计更加稳固

Navitar 的电动化设计适用于 12X 和 6000 变焦系统,将磁场霍尔效应传感器和参照位置定位融为一体。霍尔效应传感器是固态器件,部件不可移动。

霍尔效应固态传感器集成技术

不受环境光影响

不受环境污染影响

不受线电压影响

用户可以选择同时电动变焦和聚焦轴,或是仅仅是变焦。Navitar 提供三种不同的电动类型:

二相步进电机 (Faulhaber)

五相步进电机 (Oriental, Vexta)

有编码器的 DC 伺服电机 (Faulhaber)

大多数电动化镜头是根据订单制造,这可能影响交货时间。


Navitar   深紫外(DUV)光学系统


NanoVue 248nm 4x 深紫外变焦系统 ( 光学检测 0.1um)

提供工业级深紫外变焦解决方案


针对进一步扩大光学分辨率的需求,Navitar开发出NanoVue 248nm 4X深紫外变焦镜头,用于光学检测。NanoVue光学系统工作在深紫外(DUV)波段,用于检测和分析关键的缺陷。相对于传统的可见光显微镜,NanoVue成倍地提高了分辨率的极限。



90nm分辨率

放大倍率75X - 300X, 配合100X 物镜

0.15 to 0.037 mm FOV 对应 2/3" 格式传感器和100X物镜

采用深紫外物镜,检测尺度可达0.1 um

工业级深紫外变焦解决方案



应用

   UV reticle & photomask inspection (UV   投影和掩模检测)

   Thin film measurement ( 薄膜测量)

   Wafer inspection ( 晶圆检测)

   CD metrology ( 关键尺寸测量)

   Failure analysis ( 失效分析)

   Process control ( 过程控制)

   Protein crystal location ( 蛋白质晶体 率选和位 定位)

   Pharmaceutical quality control ( 药物质量控制)

   Contaminant analysis ( 杂质分析)

   Cellular imaging & DNA analysis ( 细胞成像和DNA 分析)


NanoVue变焦镜头是理想的新产品开发和集成DUV仪器的工具,具有更高的光通量,允许客户快速开发新的、灵活的自动化仪器,具备功能丰富、成本更低、体积更小等特点。



          


以下是利用深紫外(DUV) 光学系统对 蛋白晶体 (crystalline of a protein) 进行筛选的应用

案例。 请参考。 -- Picking out proteins with UV.




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