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Layertec 优质基材

简要描述:Layertec 优质基材
腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是:
Ø精确的几何形状:有关直径,厚度,折痕或曲率半径等几何特性的公差,请咨询客服
Ø表面粗糙度
Ø表面形状公差
Ø抛光表面上的缺陷数量

  • 产品品牌:Layertec
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-05-07
  • 访  问  量:30

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别光学元件应用领域医疗卫生,环保,化工,电子,综合

Layertec 优质基材

腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是:

Ø精确的几何形状:有关直径,厚度,折痕或曲率半径等几何特性的公差,请咨询客服

Ø表面粗糙度

Ø表面形状公差

Ø抛光表面上的缺陷数量

LAYERTEC针对所有这些参数优化了抛光程序。 在下文中,我们就会展示使用熔融二氧化硅和氟化钙可获得的出色结果。

规格

表面粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化钙的平面基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑弯曲的球形熔融石英表面上得到相似的结果(取决于直径和曲率半径的比率)

Ø即使在紫外线范围内,基材的散射损耗也非常低:

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波长范围内也适用于低损耗光学元件


高质量抛光熔融石英基板的功率谱密度(PSD)曲线(在FhG IOF Jena上执行的测量)


高质量抛光CaF2基板(在FhG IOF Jena执行)的3D AFM测量,均方根粗糙度0.12nm

Layertec 优质基材

表面形状公差

Fused silica

Plane

λ/20 (633nm) for diameters of 6.35mm … 101.6 mm

Spherical

λ/10 (633nm) for diameters of 6.35mm … 38.1mm

CaF2

Plane

λ/10 (633nm) for diameters of 12.7mm … 25.4 mm

λ/4 (633nm) for diameters of 38.1mm … 50.8 mm

Spherical

λ/4 (633nm) for diameters of 12.7mm ... 50.8mm

 

表面质量

Material

ISO 10110 (25mm)

Approximately equivalent to MIL-O-13830

Fused Silica

5/1x 0.010 L1x 0.0005

Scratch - Dig 5 - 1

CaF2

5/1x 0.016 L1x 0.0010

Scratch - Dig 10 - 2

 

如何选基材

基材的价格和质量取决于材料,形状,尺寸,公差和抛光质量。在此站点上,我们将提供有关上述每个问题的更多信息。但是请注意:所有这些解释都非常简化。有关详细规范,请阅读相关标准的全文。我们也很高兴通过电话讨论您的详细问题。

材料

第一个决定是基板的材料。对于高传输的所有波长,它都应无吸收。如果没有发生传输,则可以使用低成本的材料,例如适用于金属镜的Borofloat®(SCHOTT AG)。关于表面形状公差,低的热膨胀是有利的。

形状

必须分别为两侧定形状。基本上,平面,凸面和凹面的所有组合都是可能的。特殊角色扮演着角色。可以在各种表面(平面以及凸面或凹面)上应用楔形物(例如30 arcmin)。对于弯曲的基板,半径符号有不同的约定。有时,“ +”表示凸形,“-”表示凹形。其他用户将“ +”和“-”称为光传播。在这种情况下,“ +”表示“沿传播方向的曲率”,“-”表示“沿传播方向的曲率”。为避免混淆,请分别在单词中或在首字母缩写CC或CX上定凹形或凸形。

尺寸

主要决定是边缘长度或直径。

除非另有说明,否则厚度描述是指基板的最大厚度,即平凸基板的中心厚度和平凹基板的边缘厚度。因此,在较厚的一侧测量了楔形板。

为了获得良好的形状公差,应该注意直径和厚度的比率。根据经验,厚度应为直径的五分之一。当然,其他比率也是可能的,但是生产支出增加了。


规范不同类型的基板厚度的惯例(示意图)

公差范围

除尺寸和材料外,公差对价格重要。当然,光学元件必须安装在安装座中,以使直径不应大于规定的直径。最常见的规格是– 0.1mm。 通常,厚度在两个方向上都是自由的。LAYERTEC通常定其公差为±0.1mm。关于楔形,并行性和对中的规范存在很多困惑。请注意,楔形和平行度描述了光学表面之间的角度,而居中描述了光学表面和侧面之间的角度(见图2)。


图2关于楔形和定心的各种平面基板(示意图)

LAYERTEC标准基材的平行度优于5arcmin。 特制的并行可能具有低至10arcsec的并行度。 标准楔形基板的楔形度为0.5°或1°。取决于基板尺寸,较大的楔角是可能的。通常,与侧面成90°角的精度为20arcmin。定心是附加的光学处理,可将这种精度提高到几弧分。

 

使用相同的术语,可以描述弯曲的基材。镜子和镜片之间应该有区别。镜子基板的侧面是平行的。然而,光轴的方向可以相对于侧面倾斜。居中后,侧面平行于光轴。这样,镜面基板就变成了透镜。

表面形状公差

表面形状公差通常由干涉仪测量,并以λ为参考值,λ是参考波长。无需进一步说明,参考波长为λ= 546nm。为避免混淆,必须清楚地区分平坦度,功率和不规则度。下面,将解释平面的平坦度和不规则度。


图3区分平面度,功率和不规则性的示意图。第一基板的平坦度为λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的幂以及λ/ 10的不规则度。第三基板在每个表面上具有λ/ 4的不规则性,但是透射波前的变形仅为λ/ 10。

 

一般而言,每个实际表面或多或少都是弯曲的。想象一下,真实表面的“峰”和“谷”被平行平面覆盖(见图3)。这些平面之间的距离称为平坦度。这种平坦性包括两个方面。第一个贡献是表面的球形弯曲,这可以用两个适合的“峰”和“谷”拟合球来描述。相对于理想平面的该曲率的弧矢表示为幂。这种球形弯曲不会影响反射光束的质量。它只是导致有限的焦距。第二个贡献是最佳拟合球体的偏差,称为不规则性。这是光束质量重要的值。

ISO 10110标准为定表面形状公差提供了足够的机会。与测量结果具有最佳的可比性,所有值均以干涉条纹的数量给出。应将其读取为1条纹=λ/ 2。在图纸中,将表面形状公差分配为第三项:3 /功率(不规则性)。

示例:可以将规则的(λ/ 10)稍微弯曲(λ/ 4)的光学器件定为:3 / 0.5(0.2)。

仅将光学器件用于传输(例如激光窗口),功率和不规则性都无关紧要。如果光学元件在整个自由孔径上具有相同的厚度,则透射光束不会受到影响。与平坦度相似的方式定义了与该相等性的偏差。它也以参考波长的一部分进行测量,称为“透射波阵面”。例如,图3中的窗口的平坦度为λ/ 4,但透射波前为λ/ 10。”

涂层应力

通常,薄的基材无法承受涂层应力。涂层将导致球形变形。这意味着发生有限的矢状面或力量。对于圆形基板,不规则性不受此问题影响。认真对待上述值,平坦度变差。然而,光束的质量不受影响。

瑕疵

MIL-O -13830和ISO10110是描述光学元件的不同标准。这通常会导致模糊不清。 本上,应该区分划痕和凹痕。MIL-O-13830中的划痕和挖掘深度数字表示最大的划痕宽度(以十分之一微米为单位)和最大挖掘直径(以百分之一毫米为单位)。最大尺寸挖掘可以是直径的每20mm一次。根据ISO10110,缺陷定为项目编号5。等级编号表示二次区域的边长(以毫米为单位),它等于总缺陷区域。因此5 / 1x0.025表示表面缺陷面积为0.000625 mm2。此外,前导L表示任何长度的刮擦。宽度为4微米的长刮擦将定为L 1 x 0.004。

标准质量基材

LAYERTEC的精密光学设备可生产平面和球面弯曲的镜面基板,熔融石英的透镜和棱镜,BK7和SF10等光学玻璃以及某些晶体材料,例如 氟化钙。在以下内容中,您可以找到有关我们标准基板规格的信息。请不要犹豫,与我们联系以获取其他尺寸,形状,半径和材料或特殊组件,例如棱镜,标准具或弯月形透镜。

规格

材料

熔融石英:Corning7980®或Lithosil®Q2(SCHOTT AG)

用于高功率应用的熔融石英:Suprasil®300 / 3001/3002(Heraeus)

紫外熔融石英(准分子级)Lithosil®Q1 E -193和E-248(SCHOTT AG)红外熔融石英:Infrasil302®(Heraeus)

BK7®:光学玻璃(SCHOTT AG)

CaF2:从紫外线到红外都是透明的,可根据要求提供准分子级质量的价格

蓝宝石:随机取向,单晶,可根据要求提供特殊取向

YAG:未掺杂,随机取向,单晶


∅: 直径 [mm]

t: 厚度 [mm]

 

外型尺寸

Ø熔融石英,BK7:直径6.35毫米…508毫米(¼英寸…20英寸)

Ø氟化钙,YAG,蓝宝石:直径6.35毫米至50.8毫米(¼英寸至2英寸)

Ø可根据要求提供矩形基板和其他直径

平面基板,平行和楔形

Ø标准平面基板:楔形<5arcmin

Ø标准平行:楔形<1arcmin或楔形<10arcsec

Ø标准楔子:楔形= 30arcmin或楔形= 1deg

平凹和平凸基材

Ø标准半径:25、30、38、50、75、100、150、200、250、300、400、500、600、750、1000、2000、3000、4000、5000mm

Ø楔形:CaF2:楔形<15min,所有其他材料:楔形<5min

公差范围

Ø直径:+0毫米,-0.1毫米

Ø厚度:±0.1mm


•∅:直径[mm]

•te:边缘厚度[mm]

•tc:中心厚度[mm]

表面形状公差

Fused silica

λ/10 (633nm)

BK7

λ/10 (633nm)

CaF2
Plane

 6.35mm … 25.4mm

λ/10 (633nm),

 38.1 … 50.8mm

λ/4 (633nm)

Sapphire

5/3 x 0.025 L20 x 0.0025

YAG

5/1 x 0.025 L2 x 0.004

YAG

5/1 x 0.025 L2 x 0.004

表面质量

Material

ISO 10110 (25mm)

Approximately equivalent to MIL-O-13830

Fused Silica

5/1 x 0.025 L1x 0.001

Scratch - Dig 10 - 3

BK7

5/2 x 0.040 L1x 0.001

Scratch - Dig 10 - 5

CaF2

5/3 x 0.025 L1x 0.0025

Scratch - Dig 20 - 3

Sapphire

5/3 x 0.025 L20 x 0.0025

Scratch - Dig 40 - 3

YAG

5/1 x 0.025 L2 x 0.004

Scratch - Dig 40 - 3

 

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