突破物理极限！Alluxa发布超低应力二向色性镀膜技术，攻克超薄基底变形难题

导语

在精工光学系统设计中，工程师们常常面临一个棘手的“鱼与熊掌"难题：

为了实现设备的轻量化和紧凑化，我们需要使用极薄的玻璃基底；但同时，为了获得尽致的光学性能，又必须镀上多层致密的介质膜。

结果往往是灾难性的——高密度的薄膜会产生巨大的内部应力，导致超薄基底发生严重的弯曲变形（即“薯片效应"），最终充分破坏系统的波前和成像质量。

难道“超薄基底"与“高性能镀膜"真的无法兼得吗？

作为国际高性能光学镀膜和滤光片技术的翘楚，Alluxa 刚刚交出了一份令人振奋的答卷。

01. 突破瓶颈：专为 <1.0 mm 超薄基底而生

近日，Alluxa 正式宣布了一项突破性的技术进展：基于其专有的 Sirrus™ 等离子体物理气相沉积 (PVD) 工艺，成功研发出全新的 ULTRA 低应力二向色性镀膜工艺 (ULTRA Low-Stress Dichroic Process)。

这项技术的亮点在于：它能够在厚度小于 1.0 毫米 (<1.0 mm) 的超薄基底上，实现致密的介质光学镀膜，同时将薄膜应力降至开创性的极低水平。

这意味着，光学工程师在进行系统设计时，不再需要为了妥协镀膜应力而被迫增加基底厚度。这一突破极大地减少了设计限制，为光学仪器的微型化和性能打开了新的大门。

图 1. 采用 Alluxa 低应力工艺制造的 0.5 毫米厚超平坦二向色滤光片。

02. 性能不妥协：依然是顶配的 ULTRA 系列

在过去，降低镀膜应力往往意味着要牺牲一定的光学性能（例如边缘陡度或透射率）。但 Alluxa 的研发团队打破了这一常规。

全新的低应力工艺被整合进了 Alluxa 备受赞誉的 ULTRA 系列产品线中。这意味着，这些超薄、超平的二向色性滤光片，依然具备 ULTRA 系列标志性的“顶配"参数：

• 极陡峭的边缘过渡 (Steep Edges)：实现波段之间的精准切割。

• 超高透射率 (High Transmission)：较大限度保留目标光信号。

• 杰出的反射率 (Superior Reflection)：确保光路的高效分离与导向。

图 2. ULTRA 系列多波段二向色分光镜，具有 5 个透射波段，且各波段间均由反射波段隔开。

正如 Alluxa 总裁 Peter Egerton 所言：

“我们非常激动能为客户带来这项新能力。多年来，‘在超薄基底上实现高性能、陡边缘的二向色镜’一直是客户频繁提出的迫切需求。我们的工程团队付出了巨大的努力，最终构思并创新出了这一优异的解决方案。"

03. 眼见为实：行业前沿化的平整度表现

为了直观展示 ULTRA 低应力工艺的强悍实力，Alluxa 公布了干涉仪测试对比数据。

图 3. ULTRA 低应力工艺展示了未镀膜基底（左）与镀膜后基底（右）之间极小的平整度变化。

从测试结果可以清晰地看到，即使在极薄的基底上完成了复杂的多层介质膜沉积，镀膜后的基底依然保持了与未镀膜前几乎一致的平整度。这种行业前沿化的平整度控制能力，直接保障了最终光学仪器的精度和稳定性。

04. 赋能前沿：三大核心应用场景

这项“超薄且平整"的镀膜黑科技，将直接惠及以下对体积、重量和精度要求较高的前沿领域：

1.显微镜 (Microscopy)

在现代多色荧光显微镜中，光路极其紧凑。超薄的二向色镜可以有效减少光束偏移和像差，提升高数值孔径 (NA) 系统的成像清晰度。

图 4. 用于荧光显微领域的超陡变、高透过率长通二向色分光镜。

2.医疗器械与体外诊断 (Medical)

随着医疗设备向便携化 (Point-of-Care) 和微型化发展，内部光学组件的尺寸和重量被严格限制。低应力超薄滤光片是实现医疗仪器小型化的关键拼图。

3.航空航天应用 (Space-based Applications)

在太空探索中，“克克计较"是常态。超薄基底能大幅减轻有效载荷的重量，而致密的 PVD 镀膜则能抵抗太空严苛的温度和辐射环境，确保设备在轨稳定运行。

行动号召

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